Ziel des Teams ist es, künftig noch kleinere ISFET-Chips zu entwickeln, mit weniger als 1 mm² Fläche, um auch in baugrößenkritischen Geräten zum Einsatz zu kommen.
„Das nächste Ziel sind kleinere ISFET-Chips (< 1mm2), um baugrößenlimitierte Anwendungen adressieren zu können. Der Reinraum ist für diese Herausforderung bestens ausgestattet!“, so Technologe Falah Al-Falahi.
COMPAMED.de; Quelle: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)