Der Excimerlaser - ein Produkt der Bartels Mikrotechnik GmbH

Das Handling winziger Probenmengen in Diagnose-Einheiten oder der sparsame Einsatz wertvoller Medikamente in mobilen Auto-Dosiersystemen setzen vielfach miniaturisierte Bauteile voraus. Für das Prototyping solcher Mikrostrukturen ist der Excimerlaser, wie ihn die Bartels Mikrotechnik GmbH anbietet, schnell und flexibel. Die laterale Strukturinformation wird durch Masken in das Substrat mit sehr guter Tiefenkontrolle übertragen. Neben der Einzelfertigung können so die Vorzüge der Lasertechnik auch in der Kleinserie genutzt werden.
Denn mit einer minimalen Strukturauflösung von bis zu 5 µm ist das Verfahren nicht nur präzise. Es ist auch flexibel, da Einzelstrukturen durch die Masken kombinierbar sind und somit Produktvarianten bei kleinen Losgrößen günstig bleiben