16.10.2015

CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

Wafertechnologien für Mikro-Laserbeleuchtungen

VCSEL-Beleuchtungen als Halbzeuge auf Wafer-Level

Das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH hat eine kostengünstige Technologie zur Herstellung von schmalbandigen Laserbeleuchtungen im Batchprozess entwickelt. Bis zu 20,000 Baugruppen befinden sich auf einen Glaswafer. Die schmalbandigen VCSEL-Module verfügen über eine ausgezeichnete Strahlqualität und werden als Komponente z.B. in Ellipsometern, Reflexions- und Transmissionsmessgeräten sowie Polarimetern benötigt.


Prozessiert wurden bisher Lasermodule mit Emissionswellenlängen von 670 nm und 850 nm. Die verwendeten Glaswafer sind optische Linse, Abstandshalter und Träger für die aktiven Elemente zugleich und ermöglichen damit die geringe Baugröße von nur 0,7 mm x 0,7 mm x 1,4 mm.
Die Mikro-Laserbeleuchtungen senden monochromatisches Licht mit kleinem Divergenzwinkel von weniger als 0,5° aus und bilden bei 30 mm Entfernung einen Lichtfleck von 300 µm ab Die Strah-lung ist linear polarisiert in einer Ebene, die um 45° zur Modulkante geneigt ist.


Die Forschungs- und Entwicklungsarbeiten werden gefördert durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie (FKZ: MF130023).


Projektpräsentation zur:
COMPAMED, 16.-19. November 2015, Düsseldorf, Halle 8a Stand H23