12.10.2007

SENSIRION AG - the sensor company

Technologie Durchbruch

Kostengünstige Hochleistungs-Gasfluss-Sensoren? Kein Widerspruch mehr!

Die Sensirion AG aus Stäfa, Schweiz kann dieses Jahr einen grossen Durchbruch in der Herstellung von MEMS Gasfluss- und Differenzdrucksensoren verzeichnen. Dank der Fertigung auf grösseren Wafern können die präzisen und zuverlässigen Sensoren zu sehr günstigen Konditionen angeboten werden. Davon profitieren insbesondere OEM-Kunden aus der Medizin-technik.

Die CMOSens® Gasfluss- und Differenzdrucksensoren von Sensirion werden seit einigen Jahren mit integrierter Intelligenz auf Siliziumbasis hergestellt. Die Produktion erfolgt im Rahmen eines Standard CMOS Prozesses. Die dabei in grossen Stückzahlen gefertigten Sensoren werden weltweit mit grossem Erfolg in diversen Produkten eingesetzt.

Nach über 15 Jahren Forschung und Entwicklung konnte vor einigen Monaten die Produktion auf 8“ Wafer Handling erweitert werden. Dadurch können nun digitale Gasfluss- und Differenzdrucksensoren mit höchster Performance, in sehr grossen Volumina und zu äusserst attraktiven Preisen hergestellt wer-den. Möglich ist dies dank der mehrfach patentierten CMOSens® Technolo-gie. Mit dieser lassen sich in neuster Generation auf kleinstem (Halb-
leiter-)Raum integrierte intelligente Systeme unterbringen. Dank eingebauter Selbsttests können solche Sensoren unter anderem in sicherheitsrelevanten Anwendungen integriert werden. Dazu gehören insbesondere Anwendungen in der Medizintechnologie, wie beispielweise in der Anästhesie, der künstli-chen Beatmung oder in CPAP-Geräten.

Erste Gasfluss- und Differenzdruckprodukte, mit der sich die Vorteile der neuesten CMOSens® Technologie Generation voll ausschöpfen lassen, werden ab dem 1. Quartal 2008 serienmässig verfügbar sein.