10.05.2010

IVAM Research

Neue Megasonic Düse mit der Frequenz von 600 kHz

Die SONOSYS Ultraschallsysteme GmbH ist spezialisiert auf Entwicklung, Produktion und Vertrieb von hochfrequenten Ultraschallsystemen im Frequenzbereich von 400 kHz bis 4 MHz. Die durch Megasonic-Energie erzeugte Kavitation und Mikroströmung, in Verbindung mit chemischen Reaktionen, ermöglicht das Ablösen von Partikeln bis in den Nano Bereich von empfindlichen Oberflächen und feinen Strukturen.

Mit den bisherigen Frequenzen der Megasonic-Düsen von 1 MHz bis 4 MHz ist die äußerst effiziente Reinigung von z.B. Halbleiter-Wafern und Masken bis zu einer Partikelgröße von 34 nm möglich. Bei der neuen Frequenz von 600 kHz tritt im Flüssigkeitsstrahl eine deutlich stärkere Kavitation auf und ermöglicht dadurch die Abreinigung größerer Partikel und hartnäckiger Verunreinigungen. Eine Vielzahl von neuen Anwendungsgebieten außerhalb der Halbleiterindustrie erschließt sich hierdurch, z.B. für die Optik, Medizintechnik und Sensorik.