10.05.2010

IVAM Research

Intelligente Schichtentwicklung für die Energieversorgung von morgen

Egal ob es um die Entwicklung von neuartigen Sensoren oder Mikrosystemen, die Verbesserung von optischen oder magnetischen Speichermedien, die Kombination und Miniaturisierung von mechanischen und elektrischen Funktionen in MEMS Mikrosystemen oder supraleitende Schichtsysteme für die Energieversorgung von morgen geht - dünne Schichten auf Nano- oder Mikrometerskala spielen dabei die entscheidende Rolle.

Das kompakte F&E-Beschichtungssystem „axplorer“ der Firma AxynTec Dünnschichttechnik GmbH basiert auf der Verfahrenstechnologie gepulster Laserdeposition (Pulsed Laser Deposition, PLD) und eröffnet Entwicklern und Materialwissenschaftlern ein breites Spektrum an Materialien, um das Schichtsystem anwendungsbezogen zu gestalten und dabei auch schnell und flexibel die Schichtmaterialien zu kombinieren und zu wechseln. Das PLD-Verfahren nutzt dabei Laserlicht mit hoher, gepulster Energie und einer kurzen Wellenlänge im UV-Bereich, um das Targetmaterial zur Dünnschichtabscheidung in die Gasphase zu bringen. Die Technologie zählt daher zur Klasse der Physikalischen Gasphasenabscheideverfahren (PVD).

Der Einsatz eines axplorer-Systems bietet Anwendern eine Vielzahl an Vorteilen bei der Entwicklung von dünnen Schichten. Beispielsweise weist das System eine hohe Flexibilität im Hinblick auf Beschichtungsmaterialien wie Oxide, Nitride, Carbide, Metalle, Halbleiter und Polymere sowie auf die Substratmaterialien auf. Ein einfacher Stöchiometrieübertrag komplexer Materialien und eine hohe Targetausbeute (80-95 %) sind weitere Vorteile. Zudem ermöglicht das System die Kombination verschiedenster Materialien (Funkti-onen) in Multilayer-Systemen und erweist sich somit insgesamt als kompaktes Plug-&-Coat-System für den F&E Bereich.